氧化镓是一种新型超宽禁带半导体材料,适用于制造高电流密度的功率器件、紫外探测器、发光二极管等。但由于氧化镓属于单斜晶系,具有高熔点、高温分解以及易开裂的特性,因此,大尺寸氧化镓单晶制备极为困难。中国电科46所制备的氧化镓单晶的宽度接近100mm,总长度达到250mm,可加工出4英寸晶圆、3英寸晶圆和2英寸晶圆。经测试,晶体具有很好的结晶质量,将为国内相关器件的研制提供有力支撑。
Copyright © 2013 深圳市奥伟斯科技有限公司版权所有 All Right Reserved ICP备:粤ICP备12049165号